AMAT Reflexion Oxide CMP
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AMAT Reflexion Oxide CMP

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CMP

类型

2003年

年份

12

晶片尺寸

基本信息

  • 型号:300mm CMP Reflexion
  • 类型:CMP
  • 年份:2003年
  • 晶片尺寸:12
  • 设备数量:1
  • 销售状态:已出售

设备描述

12L, Oxide, FI:3xLoadport(TDK), Kawasaki Robot, PC(NT old type), Nano7200, Mirra3600: Contour type, HCLU, Cleaner: MESA, Wet Robot(Brooks), Missing: 4xContour Head, HDD

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